1. 사용 교육을 이수하여 직접사용자 자격이 있는 이용자는 바로 예약신청 하고, 직접사용이 불가능해서 분석의뢰를 하실분은 전화로 일정을 협의한 후 예약하시기 바랍니다.

2. EDS 사용은 월요일~목요일 사이에 신청하여 주시기 바랍니다.

3. 직접사용은 사용자교육을 받은 교내 이용자만 가능합니다.
교내 이용자의 요청 시 연구실별 사용자교육을 상시 진행하고 있으며, 공동기기센터의 교육을 이수하지 않을 경우 직접사용을 제한합니다.

4. 야간사용은 주간(09:00 ~ 18:00)에 10회 이상 장비를 직접사용한 이용실적이 있는 교내 이용자에 한해 장비사용능력을 심사 후 자격을 부여합니다. (서식자료실의 공동활용장비 직접사용신청서 제출)

5. 최근 예약신청후 예약시간 직전에 취소요청이 빈번하게 발생하고 있습니다.
예약취소는 예약일자의 하루 전 오후6시까지만 취소가 가능합니다. 예약 당일 취소 시, 그 시간을 다른 학생도 사용할 수 없게되어 어쩔 수 없이 이와 같이 적용함을 이해해 주시기 바랍니다.

[용도 및 원리]

광학현미경은 빛의 파장 때문에 그 확대 능력에 한계(약 0.2㎛)가 나타난다. 이러한 한계를 극복하기 위해 전자를 이용 시료의 표면 조직을 고배율까지 입체적으로 관찰할 수 있는 장비가 전자현미경이다. 고압(10,000 volt 이상)으로 가속된 전자총(electron gun)에서 방출된 전자빔을 ion 증착된 시료 표면 위에 주사하여 시료에서 반사된 2차 전자(secondary electron)를 검출기로 모아 영상화 시키는 장비임.

[규격 및 사양]

* 3.0nm @ 30kV(High Vacuum Mode)
* 10nm @ 3kV(High Vacuum Mode)
* 4.0nm @30kV BSE(6Pa in Low Vacuum Mode)
* Mag. Range x5 - x300,000(153 Steps)
* Accelerating Voltage Range 0.3kV - 30kV(1,171 Steps)
* Analytical WD 10nm, TOA=35 deg.
* Vacuum Syatem TMP(210L/sec)x1, RP(162L/min)x1
* Max. Image Res. 5210x3840 Pixels(BMP, TIFF, JPEG)
* VP Range 6-270 Pa
* +/- 50 Micron Image Shift at 10mm WD

* EDS : Horiba Energy EX-250
- Super UTW Si(Li)10mm2, 137eV at Mn Ka
- Detectable element : B(5) to U(92)

- 예약신청 후 사전 연락없이 3회 이상 장비를 사용하지 않을 경우 3개월간 사용을 제한합니다.

- 야간사용 자격획득 후 6개월간 이용실적이 없으면 야간사용 자격을 제한합니다.

- 야간사용 시 이용신청자와 사용자가 다를 경우 야간사용 자격을 제한합니다.

[이용요금]

* 15,000원/30분, EDX 사용시 50% 할증, 직접이용시 50%할인
* 전처리 : 10,000 원/회 (백금막코팅)

* 교외 기업체,연구소소속 이용자는 교내이용자 요금의 200%입니다.

* 단 교외 교육기관(대학원학위과정) 소속 이용자는 교내이용자와 동일한 요금이 적용 됩니다.
※ 외부기관(교외기업, 연구소, 대학 등)의 경우, 2016년 9월 1일부터 부가세 10%가 별도로 부과됩니다.